英飞凌申请半导体晶圆自动化非规范筛选专利，考虑历史记录测定参数位置相关性
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2025-06-01 00:33:18
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金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，英飞凌科技加拿大公司申请一项名为“使用测定的晶粒参数与历史记录的晶粒参数进行自动化非规范晶圆筛选”的专利，公开号CN120072693A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，一种对半导体晶圆的自动化非规范筛选，其考虑了历史记录的测定参数的位置相关性。针对被筛选的受检晶圆上的多个晶粒中的每一个，进行晶粒筛选，其包括测量一定位置处的参数值并与该位置处的历史记录期望参数值进行比较。这种比较得到在该位置处的晶粒的测定参数值与期望参数值之间的偏差。然后，使用受检晶圆上的多个晶粒的偏差值来计算受检晶圆的偏差参数值。如果受检晶圆的偏差参数值落在偏差公差之外，则该受检晶圆被识别为非规范晶圆。
来源：金融界
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