中欣晶圆半导体申请双面研磨后硅片表面清洁方法专利，去除片表面水渍以及颗粒
创始人
2025-06-04 00:04:40
0次
金融界2025年6月3日消息，国家知识产权局信息显示，杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请一项名为“双面研磨后硅片表面的清洁方法”的专利，公开号CN120079612A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本发明涉及一种双面研磨后硅片表面的清洁方法，所属硅片研磨加工清洁技术领域，包括如下操作步骤：第一步：通过伸缩气缸对限位橡胶卡环进行合拢，将硅片插夹限位。第二步：导轨上的滑动气缸带动硅片清洁工装上的硅片位移至旋转轮上端且与清洗刷不接触。第三步：接着滑动气缸位移使得旋转的清洗刷对硅片进行水渍的清洁。第四步：当完成一个面的清洁后，伸缩气缸拉伸，使得限位橡胶卡环夹紧片，然后滑动气缸带动硅片清洁工装上的硅片远离刷。第五步：翻面旋转气缸对片进行100度的旋转，接着片位移至旋转轮上端且与清洗刷进行另一个面的清洁过程。解决了研磨后水渍跟残留的问题。去除片表面的水渍以及颗粒。
天眼查资料显示，杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，成立于2017年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本503225.6776万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州中欣晶圆半导体股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息344条，此外企业还拥有行政许可17个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
书客SKY护眼台灯：用红光技术...
最近想给办公桌上添个台灯，可真是愁坏我了。便宜的吧，怕质量不行是个坑；贵的吧，又觉得肉疼舍不得。就在...
WTT中国大满贯王楚钦上演大逆...
在局分一度1-3、决胜局3-7落后的情况下，新科世乒赛冠军王楚钦迸发出强大的战斗力，最终在WTT中国...
罕见4.0GHz奔腾4现身：无...
2025-10-05 01:20:17 作者：狼叫兽 10月4日，一位用户在整理旧硬件时发现了一块...
上海科创中心建设加快推进，硬X...
记者从上海科技大学了解到，近日，该校两项科技创新工程同时迎来关键节点——上海硬X射线自由电子激光装置...
原创 台...
此次限制措施实际上是在回应南非政府在9月初决定降低台湾地区代表处地位的动作。台当局企图通过这一经济手...
2025年3D IC和2.5D...
贝哲斯咨询统计3D IC和2.5D Ic封装市场数据显示，2025年全球3D IC和2.5D Ic封...
华为取得电子器件和电子设备专利...
金融界2025年8月9日消息，国家知识产权局信息显示，华为技术有限公司取得一项名为“电子器件和电子设...
人工智能热潮下 存储芯片行业将...
（央视财经《天下财经》）从行业角度来看，摩根士丹利的最新研报预测，人工智能热潮下，存储芯片行业预计迎...
原创 时...
最近，俄罗斯的动作可谓让人意外。普京亲自视察了俄罗斯的联合发动机公司工厂，并且宣布要向中国提供最新的...
孙颖莎、王曼昱女单争金，王楚钦...
10月4日，WTT中国大满贯进行了两场男单1/4决赛和两场女单半决赛的争夺，国乒在外战中全部取得胜利...