宸微设备申请刻蚀设备及其降温方法专利 能够降低电感线圈的温度
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2025-06-04 22:34:04
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金融界2025年6月4日消息，国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“刻蚀设备及其降温方法”的专利，公开号CN120089582A，申请日期为2025年02月 。
专利摘要显示，本公开实施例提供了一种刻蚀设备及其降温方法，其中，刻蚀设备包括：反应腔体；介质窗，设置于所述反应腔体顶部；屏蔽罩，设置于所述介质窗上方；电感线圈，为管状结构，具有沿其轴向延伸的第一通道，所述电感线圈置于所述屏蔽罩内；第一装置，与所述第一通道的端口连接，用于向所述第一通道提供第一气体，其中，所述第一气体的温度低于所述电感线圈的额定工作温度。
天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息52条，此外企业还拥有行政许可3个。
来源：金融界
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