英奇工厂申请集成台式半导体工艺单元相关专利，以最小设施要求形成半导体制造生产线
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2025-06-05 09:07:21
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金融界2025年6月5日消息，国家知识产权局信息显示，英奇工厂股份有限公司申请一项名为“集成台式半导体工艺单元和由此类单元所形成的半导体制造生产线以及半导体工具库”的专利，公开号CN120092316A，申请日期为2023年06月。
专利摘要显示，本文描述了集成台式半导体工艺单元和基于单元的半导体制造生产线。一种单元包含工具隔室，其中一个或多个半导体工艺工具被定位。每个工艺工具是模块化的，并且由限定工具配置和功能的单元组装而成。所述单元还包括流体耦合到所述半导体工艺工具及外部连接的一个或多个支持模块。因此，单元可以作为具有最少外部连接的独立单元操作，它可以与一个或多个附加单元集成以形成基于单元的半导体制造生产线。单元可以具有最小的占用面积(例如，小于2至3平方米)，同时支持一个或多个工具(例如，四个不同的工具)。因此，可以用最小的设施要求(例如，空间、电力)形成整个半导体制造生产线以生产小批量器件。还提供了用于这种目的的半导体工具库。
来源：金融界
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