国网江苏电科院等申请基于MEMS技术的阶梯型FP传感器及其制备方法专利，实现传感器的多谐振频率
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2025-06-06 13:35:07
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金融界2025年6月6日消息，国家知识产权局信息显示，国网江苏省电力有限公司电力科学研究院、上海大学申请一项名为“一种基于MEMS技术的阶梯型FP传感器及其制备方法”的专利，公开号CN120101921A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明公开一种基于MEMS技术的阶梯型FP传感器及其制备方法，属于声学传感器技术领域。传感器包括膜片、衬底、毛细管和光纤；膜片器件层的感应输入端中部区域设有依次排列的多个不同高度的台阶，器件层的另一面设有反射层；衬底轴向中心开设有台阶型通孔，膜片周部固定连接衬底；台阶型通孔包括第一通固定孔和第二固定孔，分别与所述光纤和毛细管相适应；毛细管插入固定于第二固定孔内；光纤贯穿毛细管后插入第一固定孔并固定，光纤朝向膜片的轴向投影位于膜片中心区域，光纤端部与反射层之间具有光传输间隔。

来源：金融界

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