北方华创申请流体排放装置及半导体工艺设备专利，涉及半导体制备技术领域
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2025-06-06 15:33:46
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金融界2025年6月6日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“流体排放装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120101037A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本申请公开了一种流体排放装置及半导体工艺设备，涉及半导体制备技术领域，所公开的流体排放装置包括箱体、第一分隔部和第二分隔部；箱体设有第一流体进口、排液口和排气口，第一流体进口用于与半导体工艺腔室的流体排放口连通；第一分隔部设于箱体的底部，且将箱体分隔为主体区域和储液区域，第一分隔部的上边缘与箱体的顶壁间隔设置，第一流体进口与储液区域连通，排液口和排气口均与主体区域连通；第二分隔部与箱体的内壁连接，且第二分隔部的至少部分伸入储液区域内，第二分隔部的下边缘与箱体的底壁间隔设置，沿竖直方向，第一分隔部的上边缘高于第二分隔部的下边缘。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目1062次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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