北方华创申请用于工艺腔室的开盖机构及半导体工艺设备专利，解决目前半导体工艺设备的维护难度大和维护时间长的问题
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2025-06-09 18:36:17
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金融界2025年6月9日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“用于工艺腔室的开盖机构及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120108993A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请属于半导体工艺设备技术领域，具体涉及一种用于工艺腔室的开盖机构及半导体工艺设备。该开盖机构包括支撑座、转动轴和定位件，定位件可相对转动轴活动，转动轴用于与工艺腔室的上盖相连接，支撑座用于与工艺腔室的腔室本体相连接，转动轴可转动地与支撑座连接，转动轴用于在第一转动位置和第二转动位置之间转动，在转动轴处于第一转动位置或第二转动位置的情况下，定位件可相对于转动轴活动以与转动轴定位配合或者解除定位配合。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目1065次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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