应用材料公司申请用于等离子体处理应用的脉冲电压补偿专利，用于调整电压衰减
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2025-05-15 17:34:47
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金融界2025年5月15日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于等离子体处理应用的脉冲电压补偿”的专利，公开号CN119998914A，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本文所提供的实施例总体上包括用于处理腔室中的基板的等离子体处理的装置(例如，等离子体处理系统)和方法。一些实施例涉及一种用于波形生成的方法，其总体上包括：从能量源输送具有相关联设定点的第一波形；检测第一波形的至少一个特性；估计在第一波形期间的脉冲的一部分期间的电压衰减；计算补偿因子；以及使用补偿因子调整所述至少一个特性以调整电压衰减。
来源：金融界
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