湖南红太阳光电 申请管式PECVD设备外部真空抽气结构专利，提高更换石英管效率
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2025-05-15 23:04:30
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金融界2025年5月15日消息，国家知识产权局信息显示，湖南红太阳光电科技有限公司申请一项名为“一种管式PECVD设备的外部真空抽气结构”的专利，公开号CN119980199A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本发明公开了一种管式PECVD设备的外部真空抽气结构，包括真空泵组和抽真空管路，所述真空泵组包括多个真空泵，各所述真空泵通过抽真空管路与气源柜相连，多个所述真空泵沿管式PECVD设备中石英管轴向方向间隔布置于气源柜的一侧，并在气源柜的一侧形成用于供石英管进出的预留空间。本发明的管式PECVD设备的外部真空抽气结构具有结构简单，布局合理以及更换石英管效率高的优点。
天眼查资料显示，湖南红太阳光电科技有限公司，成立于2009年，位于长沙市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本65270.9万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南红太阳光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目11次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息403条，此外企业还拥有行政许可9个。
来源：金融界
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