宸微设备申请导流组件以及半导体设备专利，提高晶圆的良率
创始人
2025-06-25 19:38:12
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金融界2025年6月25日消息，国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“导流组件以及半导体设备”的专利，公开号CN120199675A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，一种导流组件以及半导体设备，导流组件，设置在晶圆载盘的四周和反应腔室之间，所述导流组件的环形本体内部具有内壁面，所述内壁面构成沿周向延伸的环形通道，所述发热单元设置在所述环形通道中。通过所述发热单元对所述环形本体加热，可以避免刻蚀工艺过程中产生的副产物在所述环形本体表面累积附着，进而防止副产物污染晶圆表面，从而能够提高晶圆的良率。此外，由于避免了副产物在环形本体表面的累积，还可以延长设备的维护周期，提高设备的产能。
天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息57条，此外企业还拥有行政许可3个。
来源：金融界
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