华海清科申请竖直擦洗装置等相关专利，提供半导体晶圆加工技术
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2025-06-28 17:09:20
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金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科（北京）科技有限公司申请一项名为“竖直擦洗装置、晶圆擦洗方法、晶圆加工设备及存储介质”的专利，公开号CN120221468A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体晶圆加工技术领域，提供一种竖直擦洗装置、晶圆擦洗方法、晶圆加工设备及存储介质。竖直擦洗装置包括箱体、夹持组件和擦洗组件、供液器，夹持组件用于竖直夹持晶圆并驱动晶圆沿竖直面旋转，供液器用于向晶圆的正面提供清洗液；擦洗组件包括：摆动件，包括摆动轴和摆臂，所述摆臂能够平行于晶圆的正面摆动；擦洗件，设置在摆臂的末端；收集护罩和导流护罩，收集护罩包绕在擦洗件的外周，导流护罩接合收集护罩的靠近摆臂的端部并沿摆臂朝向摆动轴延伸；擦洗组件配置成驱动摆臂摆动至晶圆前方并使擦洗件接触晶圆的正面以进行擦洗，收集护罩用于收集自擦洗件滴落的液体，导流护罩用于将收集的液体引导至晶圆之外。
天眼查资料显示，华海清科（北京）科技有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科（北京）科技有限公司参与招投标项目74次，专利信息96条，此外企业还拥有行政许可9个。
来源：金融界
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