华海清科申请竖直擦洗装置等相关专利，提供半导体晶圆加工技术
创始人
2025-06-28 17:09:20
0次
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科（北京）科技有限公司申请一项名为“竖直擦洗装置、晶圆擦洗方法、晶圆加工设备及存储介质”的专利，公开号CN120221468A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体晶圆加工技术领域，提供一种竖直擦洗装置、晶圆擦洗方法、晶圆加工设备及存储介质。竖直擦洗装置包括箱体、夹持组件和擦洗组件、供液器，夹持组件用于竖直夹持晶圆并驱动晶圆沿竖直面旋转，供液器用于向晶圆的正面提供清洗液；擦洗组件包括：摆动件，包括摆动轴和摆臂，所述摆臂能够平行于晶圆的正面摆动；擦洗件，设置在摆臂的末端；收集护罩和导流护罩，收集护罩包绕在擦洗件的外周，导流护罩接合收集护罩的靠近摆臂的端部并沿摆臂朝向摆动轴延伸；擦洗组件配置成驱动摆臂摆动至晶圆前方并使擦洗件接触晶圆的正面以进行擦洗，收集护罩用于收集自擦洗件滴落的液体，导流护罩用于将收集的液体引导至晶圆之外。
天眼查资料显示，华海清科（北京）科技有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科（北京）科技有限公司参与招投标项目74次，专利信息96条，此外企业还拥有行政许可9个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
商务部新闻发言人就安世半导体问...
有记者问：近期有媒体报道称，安世东莞厂的晶圆库存目前处于较低水平，开始导致包括在中国的中外汽车制造商...
交流型接近开关
这是(xiexinke79)整理的信息，希望能帮助到大家 交流型接近开关是一种常见的传感器，它能够在...
比亚迪电子（00285.HK）...
证券之星消息，12月22日南向资金增持74.85万股比亚迪电子（00285.HK）。近5个交易日中，...
微弧氧化脉冲电源_高频脉冲电源...
济南能华机电设备有限公司在微弧氧化脉冲电源、高频脉冲电源、直流脉冲电源、恒流恒压脉冲电源以及双脉冲电...
破解产业难题，电子科技大学专家...
12月19日至20日，由电子科技大学广东电子信息工程研究院（下称“电研院”）组织的“专家教授走进东莞...
12月22日新型显示R（470...
证券之星消息，12月22日，新型显示R（470048）指数报收于2178.43点，涨2.66%，成交...
崇达技术：高端PCB产能主要供...
有投资者在互动平台向崇达技术提问：“公司重点布局的高端pcb产能供应给谁？目前拓展了哪些客户？” 针...
凌玮科技拟收购江苏辉迈 切入高...
凌玮科技12月22日晚间公告称，公司拟以现金方式分两次收购江苏辉迈粉体科技有限公司（简称“江苏辉迈”...
奥联电子：控股股东筹划控制权变...
每经AI快讯，12月22日，奥联电子(300585.SZ)公告称，公司控股股东广西瑞盈资产管理有限公...
云天励飞：暂无TPU相关产品规...
有投资者在互动平台向云天励飞提问：“董秘你好，谷歌TPU验证了很多场景可以替代GPU芯片，请问公司有...