拓荆科技获得发明专利授权：“一种气体切换系统及其相关半导体制程方法”
创始人
2025-05-17 03:32:06
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气体切换系统及其相关半导体制程方法”，专利申请号为CN202111531442.5，授权日为2025年5月16日。
专利摘要：本揭露涉及一种气体切换系统及其相关半导体制程方法。在本揭露的一实施例中，一种气体切换系统，其适用于向半导体制程装置提供气体切换功能，所述半导体制程装置至少包含设置于上游的制程气体源、设置于下游的制程腔室以及真空泵，所述气体切换系统设置在所述制程气体源与所述制程腔室之间，其特征在于，所述气体切换系统包括：实质上居中设置的第一反应气体入口和第二反应气体入口，所述第一反应气体入口和所述第二反应气体入口分别经配置以接收来自所述制程气体源的反应气体；分别设置于所述第一反应气体入口两侧的第一阀体单元和第二阀体单元；及分别设置于所述第二反应气体入口两侧的第三阀体单元和第四阀体单元。
今年以来拓荆科技新获得专利授权14个，较去年同期增加了133.33%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
原创 歼...
在现代军事博弈中，制空权的争夺始终是各国军力比较的核心。最近印媒《欧亚时报》的报道引发了广泛关注，披...
长江电力获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长江电力（600900）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
长江电力获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长江电力（600900）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
博力威获得实用新型专利授权：“...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示博力威（688345）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“多...
安达智能获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示安达智能（688125）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
中兴通讯获得发明专利授权：“网...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中兴通讯（000063）新获得一项发明专利授权，专利名为“网络...
壶化股份获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示壶化股份（003002）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
兴福电子获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示兴福电子（688545）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
嫌鸡蛋太脏，女子洗了两锅鸡蛋，...
近日有媒体报道，一女子嫌鸡蛋太脏，回家后立即用水清洗，结果洗完后才知道鸡蛋不能洗，洗过容易坏掉，无奈...
费城半导体指数盘中涨1.7%，...
钛媒体App 10月2日消息，费城半导体指数盘中涨1.7%，再创历史新高。（科股宝播报）