华虹半导体申请改善深沟槽超级结器件IDSS离散方法专利，改善了深沟槽超级结器件的IDSS离散
创始人
2025-07-12 11:38:33
0次
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，华虹半导体（无锡）有限公司申请一项名为“改善深沟槽超级结器件IDSS离散的方法”的专利，公开号CN120302698A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明提供一种改善深沟槽超级结器件IDSS离散的方法，将衬底转移至反应室中，深沟槽的表面因自然氧化形成有氧化层，深沟槽与氧化层的界面形成有N型杂质浓度大于外延层的硅层，将反应室内的温度升高至第一设定温度，将反应室内的压力提高至第一设定压力，在腔体中通入还原性气体，使得深沟槽表面的氧化层去除；将反应室内的压力降低至第二设定压力，持续降低反应室中的温度，且深沟槽的底部温度大于其顶部温度，并向反应室中通入刻蚀气体，利用刻蚀气体去除深沟槽表面的硅层，待反应室中的温度降低至第二设定温度时，停止通入刻蚀气体；将反应室内的压力提高至第三设定压力，去除深沟槽中残留的刻蚀气体。
天眼查资料显示，华虹半导体（无锡）有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析，华虹半导体（无锡）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2925次，专利信息1710条，此外企业还拥有行政许可117个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
盈特创申请永磁同步电机控制方法...
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，深圳盈特创智能科技有限公司申请一项名为“永磁...
成都恒羽科技申请一种空中作业机...
金融界 2025 年 7 月 12 日消息，国家知识产权局信息显示，成都恒羽科技有限公司申请一项名为...
优威电气申请自动匹配灯管电压的...
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市优威电气技术有限公司申请一项名为“一种...
科陆电子取得用于电能表的电压互...
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市科陆电子科技股份有限公司取得一项名为“...
话题｜中国女篮亚洲杯只带韩旭、...
中国女篮将于13日在深圳开启亚洲杯的征战。中国女篮已经确定了征战今年亚洲杯的12人名单，其中令人感到...
江西赣州：半挂车从山坡滚落至马...
央视网消息7月10日，江西省赣州市崇义县横水镇茶亭坳隧道口附近，一辆半挂车在行驶过程中从山坡滚落至马...
福建盛众电气取得防潮式开关柜专...
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，福建盛众电气有限公司取得一项名为“一种防潮式...
福建量道新能源取得绝缘电阻检测...
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，福建量道新能源发展有限公司取得一项名为“一种...
江苏芯梦半导体取得一种基板转运...
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，江苏芯梦半导体设备有限公司取得一项名为“一种...
华源智信半导体申请混合调光相关...
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，华源智信半导体（深圳）有限公司;华源智信半导...