帝京半导体申请半导体CVD设备用超高真空隔离传输阀专利,无需复杂传动部件能节省安装空间
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2025-05-17 19:34:12
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金融界2025年5月17日消息,国家知识产权局信息显示,帝京半导体科技(苏州)有限公司申请一项名为“半导体CVD设备用超高真空隔离传输阀”的专利,公开号CN119982990A,申请日期为2025年4月。

专利摘要显示,本发明公开了半导体 CVD 设备用超高真空隔离传输阀,涉及真空隔离传输阀技术领域,包括阀体和阀板组件,所述阀体的表面开设有阀口,所述阀板组件设置于阀体的底部,所述阀板组件包括气缸缸体、进气端口、空心活塞杆、电子阀、阀板主体、气囊和平移副板,所述气缸缸体的底部设置有进气端口,所述空心活塞杆的底部嵌入有电子阀,所述阀板主体的侧面内部内嵌有气囊。该半导体CVD设备用超高真空隔离传输阀,无需复杂的传动部件,能够有效节省安装空间,特别适用于空间紧凑的场合,且减少了机械传动过程中的间隙、磨损等因素对运动精度的影响,而且整体结构相对简单,减少了机械部件之间的摩擦和磨损,降低了因部件损坏而需要更换的频率。

天眼查资料显示,帝京半导体科技(苏州)有限公司,成立于2017年,位于苏州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本2763.887626万人民币。通过天眼查大数据分析,帝京半导体科技(苏州)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息44条,此外企业还拥有行政许可9个。

来源:金融界

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