宸微设备申请加热器及半导体设备专利，提高热能利用效率
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2025-08-19 21:38:42
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金融界2025年8月19日消息，国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“加热器以及半导体设备”的专利，公开号CN120505603A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，一种加热器以及半导体设备，加热器通过在加热腔室内设置第一加热组件，且该第一加热组件至少沿输出管一侧的加热腔室整个高度方向的侧壁上布置，并配合设置在第一加热组件外围的反射组件，有助于将原本可能向其他非目标区域散失的热辐射更集中地导向输出管，提高了热能的利用效率，能够实现对输出管高度方向上不同区域进行有效且集中的加热，从而提升输出管的管壁温度维持输出管的温度在预定水平，显著降低了从前驱体容器气化并流经输出管的前驱体气体因管壁温度较低而发生冷凝的风险，有助于维持前驱体气体的气相状态，保证了前驱体输运的顺畅性和稳定性，有利于提升半导体工艺结果的一致性和可靠性。
天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3157.8947万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息64条，此外企业还拥有行政许可3个。
来源：金融界
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