北方华创申请半导体加工设备专利，降低上盖升降中旋转几率
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2025-05-19 14:05:30
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金融界2025年5月19日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体加工设备”的专利，公开号CN119980188A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本申请提出一种半导体加工设备，包括反应腔室、上盖以及：法兰，设置于上盖；导向件，与反应腔室相固定；第一导向组件，与上盖相对固定，且抵接于导向件的第一侧面；第二导向组件，与上盖相对固定，且抵接于导向件的第二侧面，所述第二侧面与第一侧面不共面；驱动组件，包括动力源和第一轴，动力源用于驱动第一轴以传动法兰，并通过法兰带动上盖进行升降运动，以此暴露或封盖反应腔室的开口，上盖带动第一导向组件和第二导向组件分别在第一侧面和第二侧面上同步升降。本申请可以降低甚至完全避免上盖在升降过程中发生旋转的几率，确保升降稳定性，且成本和卡死风险都较低。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1042次，财产线索方面有商标信息65条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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