安徽长飞先进半导体取得托盘装置及半导体生产设备专利,可提高产品质量
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2025-05-19 18:08:24
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金融界2025年5月19日消息,国家知识产权局信息显示,安徽长飞先进半导体股份有限公司取得一项名为“托盘装置及半导体生产设备”的专利,授权公告号 CN222878158U,申请日期为 2024年7月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种托盘装置,包括托盘本体,所述托盘本体包括与晶圆接触的第一接触面,所述第一接触面的直径不小于所述晶圆的直径,所述托盘装置还包括支撑件,所述支撑件穿设于所述托盘本体,用于将所述晶圆从所述第一接触面抬起。本实用新型的托盘装置,晶圆可以完全落在托盘本体的表面上,晶圆背面没有悬空区域,避免外延过程中气体在晶圆背面进行反应,生成残余物,可以提高产品质量。

天眼查资料显示,安徽长飞先进半导体股份有限公司,成立于2018年,位于芜湖市,是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本29570.8317万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽长飞先进半导体股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目29次,财产线索方面有商标信息75条,专利信息189条,此外企业还拥有行政许可12个。

来源:金融界

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