紫光半导体申请在半导体元件上形成超低介电常数薄膜专利，减少超低介电常数薄膜中的孔洞
创始人
2025-05-21 20:04:36
0次
金融界2025年5月21日消息，国家知识产权局信息显示，成都紫光半导体科技有限公司申请一项名为“在半导体元件上形成超低介电常数薄膜的方法和得到的半导体元件”的专利，公开号CN120015618A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本公开涉及一种在半导体元件上形成超低介电常数薄膜的方法和得到的半导体元件，本公开的方法在设置有多个存储单元的半导体元件上分步形成超低介电常数薄膜，同时控制每次形成的第一部分的超低介电常数薄膜的厚度与相邻两个存储单元的距离的比例，并且在每次形成第一部分超低介电常数薄膜后，对其进行扩孔处理，避免形成不利于沉积填洞的深孔，具有较小深宽比的孔洞有利于完成后续步骤的开孔填充，减少超低介电常数薄膜中的孔洞；再继续形成第二部分超低介电常数薄膜，最后对第二部分超低介电常数薄膜进行化学机械平坦化处理；得到的超低介电常数薄膜中不带有孔洞，具有较高的薄膜质量和较好的性能。
天眼查资料显示，成都紫光半导体科技有限公司，成立于2022年，位于成都市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析，成都紫光半导体科技有限公司专利信息19条。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
神思电子：中标1.99亿元低空...
中证智能财讯 神思电子（300479）12月16日晚间公告，公司作为牵头单位与浪潮智慧城市科技有限公...
航天电子连续3个交易日收盘价格...
12月16日，航天电子（600879）发布公告，公司股票在12月12日、15日和16日连续3个交易日...
格力电器：珠海格力电子元器件有...
有投资者在互动平台向格力电器提问：“尊敬的公司董秘您好！关于功率芯片，格力有自己的功率芯片。提问：格...
股票行情快报：茂硕电源（002...
证券之星消息，截至2025年12月16日收盘，茂硕电源(002660)报收于9.11元，下跌3.7%...
外加电流恒电位仪的介绍
外加电流恒电位仪是外加电流阴极保护系统的核心设备，其通过主动输出可调电流，使被保护金属结构维持在设定...
超导概念下跌3.32%，主力资...
截至12月16日收盘，超导概念下跌3.32%，位居概念板块跌幅榜前列，板块内，精达股份、中国铀业等跌...
12月15日，“国产芯片+国产...
12月15日，“国产芯片+国产模型”的技术协同发展迎来重要里程碑。在商汤科技(00020.HK)发布...
神思电子(300479.SZ)...
格隆汇12月16日丨神思电子(300479.SZ)公布，近日，济南市公共资源交易中心发布《济南低空应...
神思电子：12月16日召开董事...
每经AI快讯，神思电子（SZ 300479，收盘价：18.41元）12月16日晚间发布公告称，公司第...
超级电容板块12月16日跌3....
证券之星消息，12月16日超级电容板块较上一交易日下跌3.1%，安泰科技领跌。当日上证指数报收于38...