绍兴芯链半导体申请光罩清洗方法专利，提高清洗效率
创始人
2025-12-30 09:11:57
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国家知识产权局信息显示，绍兴芯链半导体科技有限公司申请一项名为“一种光罩清洗方法”的专利，公开号CN121209200A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种光罩清洗方法，涉及光罩技术领域。本发明具体包括以下步骤：S1、预处理，在光罩上设置感应单元，通过感应单元检测光罩表面各处受到的压力，记录干净的光罩受到冲洗时表面各处的压力，将干净的光罩各处受到的压力为标准压力；S2、开始清洗光罩，将待清洗的光罩放置于固定工位，压力感应单元与用于控制喷头的控制器连接，开启喷头冲洗光罩，通过感应单元检测光罩各处的压力；S3、根据感应单元检测的压力值控制喷头，当感应单元检测到光罩各处的压力值均与标准压力相同时，关闭喷头停止冲洗，对光罩的清洗工作完毕。通过光罩受到的压力确定光罩是否清洗干净，在光罩清洗干净的第一时间关闭喷头，提高清洗效率，减少清洗液浪费。
天眼查资料显示，绍兴芯链半导体科技有限公司，成立于2022年，位于绍兴市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本11819.932144万人民币。通过天眼查大数据分析，绍兴芯链半导体科技有限公司参与招投标项目34次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息23条，此外企业还拥有行政许可11个。
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来源：市场资讯
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