富芯半导体取得半导体传输装置污染物自动吸附专利，有利于提高清洁效率
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2026-01-15 07:44:04
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国家知识产权局信息显示，杭州富芯半导体有限公司取得一项名为“一种半导体器件传输装置及其检测设备”的专利，授权公告号CN223798655U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体器件传输装置及其检测设备，包括腔体、清洁装置和检测装置；所述清洁装置包括静电吸附装置、第一管道和真空发生装置，所述静电吸附装置可移动地设置在所述腔体内的底部，所述真空发生装置通过所述第一管道与所述静电吸附装置连接，以将附着在所述静电吸附装置的污染物排出；所述检测装置设置于所述腔体内的第一预设高度处，所述第一预设高度与所述静电吸附装置的吸附端口的高度一致。本实用新型能够在半导体器件传输装置不停机的状态下自动吸附传输路径中的污染物，并对污染物进行含量检测和清除，有利于提高半导体器件传输装置的清洁效率，降低生产成本。
天眼查资料显示，杭州富芯半导体有限公司，成立于2019年，位于杭州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目35次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息352条，此外企业还拥有行政许可27个。
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来源：市场资讯
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