北方华创申请用于半导体工艺设备的压力补偿装置专利，压力补偿装置精度高
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2026-01-16 22:38:15
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种压力补偿装置、半导体工艺设备及压力补偿方法”的专利，公开号CN121335456A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请公开了一种压力补偿装置、半导体工艺设备及压力补偿方法，压力补偿装置包括：调节装置，用于调节加热腔的体积；压力规，用于检测所述加热腔内的当前压力；测温计，用于检测所述加热腔内的当前温度；控制器，与所述调节装置连接，用于根据所述当前压力、所述当前温度和所述加热腔的换热功率确定第一补偿体积；以及根据所述当前压力和预设目标压力确定第二补偿体积；以及调节所述加热腔的体积，其中，调节的体积等于所述第一补偿体积和所述第二补偿体积的代数和。本申请的压力补偿装置响应快，滞后小并且精度高。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1353次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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