北方华创申请干燥装置及半导体清洗设备专利，实现对待干燥件均匀的吹扫效果
创始人
2026-01-17 12:08:25
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“干燥装置以及半导体清洗设备”的专利，公开号CN121335438A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种干燥装置以及半导体清洗设备。其中，干燥装置包括吹气部件，用于向第一方向吹气以对待干燥件进行干燥；在与第一方向垂直的第二方向上，吹气部件具有第一端和第二端；吹气部件具有导气腔，导气腔与吹扫气源连通；吹气部件表面设置有与导气腔连通的出气口，出气口自吹气部件的第一端延伸至第二端，以使吹扫气体可以通过长条形的出气口吹出，从而使吹扫气流沿出气口的长度方向分布均匀，从而实现均匀的吹扫效果，进而使对待干燥件干燥效果均匀。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1353次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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