截至2026年1月21日 10:40，上证科创板半导体材料设备主题指数（950125）下跌0.27%。成分股方面涨跌互现，耐科装备领涨8.78%，中芯国际上涨4.67%，华海诚科上涨4.22%；中科飞测领跌5.62%，艾森股份下跌3.60%，芯源微下跌2.07%。科创半导体ETF（588170）下跌0.43%，最新报价1.87元。流动性方面，科创半导体ETF盘中换手11.2%，成交7.85亿元，市场交投活跃。

截至2026年1月21日 10:42，中证半导体材料设备主题指数（931743）下跌0.29%。成分股方面涨跌互现，江化微领涨10.02%，华海诚科上涨4.16%，广立微上涨2.77%；中科飞测领跌5.52%，联动科技下跌5.09%，矽电股份下跌5.02%。半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.44%，最新报价2.04元。流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手4.56%，成交1.34亿元。

资金净流入方面，科创半导体ETF近4天获得连续资金净流入，最高单日获得9.88亿元净流入，合计“吸金”19.20亿元，日均净流入达4.80亿元。半导体设备ETF华夏近11天获得连续资金净流入，最高单日获得3.65亿元净流入，合计“吸金”18.29亿元，日均净流入达1.66亿元。

消息面上，芯碁微装(688630.SH)公告称，芯碁微装发布2025年度业绩预告，预计归属于母公司所有者的净利润为2.75亿元至2.95亿元，同比增长71.13%至83.58%。报告期内，公司净利润较快增长，主要得益于在高端PCB及泛半导体领域的持续突破与深化布局，高端LDI设备需求旺盛，高精度CO₂激光钻孔设备获头部客户采纳，先进封装等半导体业务放量，二期生产基地投产保障交付能力。

中银国际认为，全球人工智能算力和汽车电子的快速增长驱动PCB产业向高多层、高密度技术迭代。芯碁微装作为全球直写光刻设备龙头，高端LDI设备精准匹配市场升级需求，订单需求旺盛，产能利用率维持高位。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（60%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），指数中半导体设备（63%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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