北方华创申请容器及半导体工艺设备专利，液位检测件可根据蒸发腔内液位控制排液通道状态
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2025-05-24 16:09:13
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金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“容器及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120026300A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种容器及半导体工艺设备，其中，所述容器包括：密封腔体和排液阀；密封腔体设有储液腔和蒸发腔，储液腔用于容置液态源，排液阀包括阀体、液位检测件和截流件，阀体设有排液通道，排液通道的入口与储液腔连通，排液通道的出口与蒸发腔连通，液位检测件设于蒸发腔内；储液腔内的液态源能够经处于流通状态的排液通道输送至蒸发腔；液位检测件用于在蒸发腔内的液态源的液位低于预设值时，控制截流件使排液通道为流通状态；液位检测件还用于在蒸发腔内的液态源的液位大于或等于预设值时，控制截流件使排液通道为截止状态。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1048次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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