电子式比例阀的发展历程大致可分为以下几个阶段:
早期阶段(20 世纪 60 年代后期):电液比例控制技术在 20 世纪 60 年代末、70 年代初出现。1967 年瑞士某公司生产的 KL 比例复合阀,标志着比例控制技术在液压系统中正式开始应用。这一时期的比例阀仅将比例电磁铁用于普通液压控制阀,而控制阀原理未变,性能较差,频响为 1-5Hz,滞环为 4%-7%,常用于开环控制。
改进阶段(20 世纪 80 年代 - 90 年代):20 世纪 80 年代初期,改进型比例阀产生,其完善了控制阀设计原理,采用各种内外反馈、电校正、耐高压比例电磁铁,使电控器件特性大为提高,稳态特性接近于伺服阀,频响为 5-30Hz,但有零位死区,既可用于开环,也用于闭环控制。到 20 世纪 90 年代,随着微电子技术的发展,比例控制技术已达到较完善的程度,主要表现在采用了压力、流量、位移、动压等反馈及电校正手段,提高了阀的稳态精度和动态响应品质;比例技术与插装阀结合,诞生了比例插装技术;以比例控制泵为代表的比例容积元件的诞生。
伺服比例阀阶段(20 世纪 90 年代中期至今):20 世纪 90 年代中期,伺服比例阀产生,其制造精度、过滤精度得以提高,首级阀口零遮盖,无零位死区,用比例电磁铁作电机械转换器,二级阀主级阀口小压差,频响 30-100Hz,一般用于闭环控制。近年来,随着技术的不断进步,电气比例阀作为一种高速和准确的压力控制器得到发展,使用了两个高速伺服或电磁(或压电)阀来根据需要增加或降低气体压力以实现减压压力控制,具有更高的压力控制精度和更大的灵活性与鲁棒性。
