京仪装备获得发明专利授权：“用于半导体废气处理设备的反应腔和反应腔的监测方法”_行业新闻

京仪装备获得发明专利授权：“用于半导体废气处理设备的反应腔和反应腔的监测方法”

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2026-01-24 08:17:06

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于半导体废气处理设备的反应腔和反应腔的监测方法”，专利申请号为CN202211143523.2，授权日为2026年1月9日。

专利摘要：本申请提供一种用于半导体废气处理设备的反应腔和反应腔的监测方法，用于半导体废气处理设备的反应腔包括：反应腔本体，呈圆筒状，半导体制程产生的废气生成于反应腔本体内；薄膜压力传感器，覆盖反应腔本体的壁面，薄膜压力传感器用于监测反应腔本体内部的气压变化；控制模块，与薄膜压力传感器电性连接，控制模块根据薄膜压力传感器传达的监测信号实时获取反应腔本体内部的气压变化。本申请反应腔的腐蚀泄漏高发区为无溢流水覆盖区，其腐蚀后内部负压环境造成薄膜压力传感器受力，控制模块根据薄膜压力传感器的阈值判断进行报警停机。本申请通过简单的装置，有效监测反应腔腐蚀，避免半导体制程可能产生的泄漏危机，保护操作者的人身安全。

今年以来京仪装备新获得专利授权7个，较去年同期增加了133.33%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了7240.02万元，同比增61.93%。

通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目102次；财产线索方面有商标信息50条，专利信息541条，著作权信息59条；此外企业还拥有行政许可12个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

装备监测京仪薄膜设备处理导体反应废气专利半导体压力传感器

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