中芯万业申请基于机器视觉的芯片表面智能检测专利，提升亚微米级缺陷检测灵敏度
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2026-01-31 16:42:59
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国家知识产权局信息显示，中芯万业科技有限公司申请一项名为“一种基于机器视觉的芯片表面智能检测方法及系统”的专利，公开号CN121415041A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于机器视觉的芯片表面智能检测方法及系统，涉及芯片表面缺陷检测技术领域，本发明包括亚微米级缺陷融合检测和混合缺陷层级化解析，通过端到端融合网络模型实现超分辨率重建与缺陷检测一体化，提升亚微米级缺陷检测灵敏度；利用特征解耦‑关联推理模型生成主缺陷类型、关联缺陷类型及成因概率的层级化解析报告。此外，还包括缺陷分布热力图生成和工艺参数智能反馈步骤，优化工艺调整策略。本发明能够显著提高缺陷检测精度与效率，为半导体制造质量控制提供技术支持。
天眼查资料显示，中芯万业科技有限公司，成立于2022年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，中芯万业科技有限公司财产线索方面有商标信息1条，专利信息20条，此外企业还拥有行政许可1个。
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来源：市场资讯
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