北方华创申请半导体工艺设备专利，减少工艺腔杂质引入
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2026-02-02 19:40:25
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利，公开号CN121430318A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请公开一种半导体工艺设备，其工艺腔和装载腔相互连通，且工艺门可封堵隔绝工艺腔和装载腔，承载装置设置于工艺门上；气体输送管路中，第一进气管、第二进气管和第三进气管均可与氛围气源连通，第一排气管和第二排气管均可与负压机构连通，第一进气管和第一排气管均与工艺腔连通，第二进气管和第二排气管均与装载腔连通，第三进气管的第二端与第一排气管可通断地连通。上述半导体工艺设备的工艺门打开过程中，杂质被气体携带进入工艺腔的量相对较少，且工艺腔的腔壁上附着的杂质会被吹落的程度相对较低。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1365次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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