截至2026年2月10日 14:58，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.13%，成分股华峰测控上涨8.63%，欧莱新材上涨7.77%，兴福电子上涨4.99%，京仪装备上涨3.19%，艾森股份上涨1.36%。科创半导体ETF（588170）上涨0.17%，最新价报1.78元。

截至2026年2月10日 15:00，中证半导体材料设备主题指数下跌0.12%。成分股方面涨跌互现，华峰测控领涨8.98%，联动科技上涨5.35%，京仪装备上涨3.18%；康强电子领跌5.65%，神工股份下跌4.29%，矽电股份下跌4.27%。半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.16%，最新报价1.92元。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手8.61%，成交6.96亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手3.52%，成交9689.81万元。

规模方面，科创半导体ETF近3月规模增长42.96亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达27.59亿元。

份额方面，科创半导体ETF近2周份额增长1.68亿份，实现显著增长，新增份额领先同类。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流出6371.43万元。拉长时间看，近10个交易日内，合计“吸金”1.82亿元；半导体设备ETF华夏最新资金净流入382.94万元。拉长时间看，近21个交易日内有15日资金净流入，合计“吸金”12.69亿元，日均净流入达6042.88万元。

消息面上，台积电1月销售额4012.6亿元台币，同比增长36.8%，较2025年12月增长19.8%。

大同证券认为，台积电2025年第四季度的财务表现，为观察高端半导体需求提供了重要参考。其营收与利润的显著增长，主要反映了高端智能手机、人工智能及高性能计算等领域需求的持续支撑。与此同时，台积电持续的资本开支，预计将对半导体设备、材料等上游产业链产生积极的拉动作用，与其技术路线绑定深的设备商（如ASML）和材料商或将同步受益。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（60%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），指数中半导体设备（63%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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