上海车仪田科技申请半导体腔室漏率检测方法专利，实现不停机泄漏检测
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2026-02-24 21:46:30
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国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“一种半导体腔室的漏率检测方法及检测系统”的专利，公开号CN121558257A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本申请涉及一种半导体腔室的漏率检测方法及检测系统，漏率检测方法包括以下步骤，采集半导体腔室内的氧气浓度信号、压力信号以及各真空阀的阀位状态信号；对多个信号进行时间对齐，形成同一基准下的多参数数据帧；设定基准模板；将多参数数据帧与基准模板进行比较，判断是否发生泄漏；当判断为发生泄漏时，根据多参数数据帧获取氧浓度增量Δc、半导体腔室的容积V以及绝对压力P，并计算标准化漏率值Q。漏率检测系统包括，传感模块；处理模块，与传感模块电连接，用于接收传感模块的信号，并对信号进行分析，以判断半导体腔室是否泄漏，并计算标准化漏率值Q。本发明能够在不停机前提下对半导体腔室的泄漏情况进行检测。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本283.866万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息85条，此外企业还拥有行政许可3个。
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来源：市场资讯
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