科视光学申请半导体光刻机设备环境净化检测装置专利，可快速对ULPA滤芯进行更换
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2025-05-27 11:34:01
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金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，赣州科视光学科技有限公司申请一项名为“一种半导体光刻机设备环境净化检测装置”的专利，公开号CN120037736A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，涉及光刻机应用领域，包括第二箱体，所述第二箱体的内部设置有进风管道和出风管道，且进风管道和出风管道的外部均设置有外凸环、活动接头和第一弹簧，所述第二箱体的内部转动连接有正反螺纹杆，且正反螺纹杆和活动接头螺纹连接，所述第一箱体的内部通过设置安装架转动连接有滤芯更换组件，且滤芯更换组件的内部安装有多组ULPA过滤器，并且滤芯更换组件和正反螺纹杆之间通过设置传动组件传动连接。本发明通过设置滤芯更换组件可以快速对ULPA滤芯进行更换，滤芯更换组件设置有多组容纳ULPA滤芯的筒仓，推动滤芯更换组件的旋钮可以拆卸旧的ULPA滤芯，而后转动旋钮可以安装新的ULPA滤芯。
天眼查资料显示，赣州科视光学科技有限公司，成立于2022年，位于赣州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，赣州科视光学科技有限公司参与招投标项目5次，专利信息3条，此外企业还拥有行政许可6个。
来源：金融界
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