合肥亦森电子科技申请半导体设备零部件酸洗装置专利，保证对半导体设备零部件的酸洗质量
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2026-03-03 16:14:26
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国家知识产权局信息显示，合肥亦森电子科技有限公司申请一项名为“一种半导体设备零部件酸洗装置”的专利，公开号CN121589077A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体设备零部件酸洗装置，涉及半导体技术领域。本发明包括处理室，还包括：隔板一，隔板一固定于处理室的内部，隔板一与处理室内壁之间围合形成酸洗池，用于对半导体设备进行酸洗；导轨式循环线，两个导轨式循环线分别安装于处理室两内侧壁，导轨式循环线布设至酸洗池内部；放置框，若干放置框均匀安装于导轨式循环线的滑座处，放置框的外表面开设有对接孔。本发明通过通过在处理室内部的导轨式循环线上设置放置框，放置在安放箱内的半导体设备零部件放置在放置框中，放置框在导轨式循环线的带动下进入到酸洗池内部，实现对半导体设备零部件的浸没，保证对半导体设备零部件的酸洗质量。
天眼查资料显示，合肥亦森电子科技有限公司，成立于2017年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥亦森电子科技有限公司专利信息5条，此外企业还拥有行政许可4个。
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来源：市场资讯
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