上海良薇申请多路输出的半导体工艺气体供应装置专利，可以进行多路混合气体输出，提高效率
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2026-03-07 16:02:10
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国家知识产权局信息显示，上海良薇机电工程有限公司申请一项名为“多路输出的半导体工艺气体供应装置、方法及半导体工艺系统”的专利，公开号CN121620126A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及一种多路输出的半导体工艺气体供应装置、方法及半导体工艺系统，半导体工艺气体供应装置包括鼓泡单元、液态源输送单元、载气输送单元和冷凝单元。其优点在于，采用高温鼓泡工序与低温冷凝工序的组合，实现了混合气体的浓度可调，实现更加稳定的混合气体输送；与传统的单路输出相比，本发明的冷凝单元可以进行多路混合气体输出，提高效率。
天眼查资料显示，上海良薇机电工程有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事建筑安装业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海良薇机电工程有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息116条，此外企业还拥有行政许可9个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
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