广州增芯科技申请光刻派工方法、系统以及电子设备专利，显著提升光刻工序产能与派工合理性_行业新闻

广州增芯科技申请光刻派工方法、系统以及电子设备专利，显著提升光刻工序产能与派工合理性

创始人

2026-03-14 23:23:38

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国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司申请一项名为“光刻派工方法、系统以及电子设备”的专利，公开号CN121657378A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本申请提供了一种光刻派工方法、系统以及电子设备，方法包括：获取各晶圆批次的光刻信息，根据晶圆批次的当前状态以及工艺路线，确定晶圆批次的预测状态，根据光刻信息以及预测状态，确定晶圆批次的多个待选执行方案，根据预设的派工策略、光刻信息以及晶圆批次的各待选执行方案，确定晶圆批次的目标执行方案，将晶圆批次的目标执行方案发送给执行模块，以使得执行模块根据晶圆批次的目标执行方案进行派工。本申请突破传统方法仅关注当前在制品的局限，通过预测性规划与多方案优化，实现机台负载均衡、光罩高效利用与连批率提升，同时保障高优先级批次快速通关，显著提升光刻工序产能与派工合理性。

天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本727500万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目48次，财产线索方面有商标信息48条，专利信息233条，此外企业还拥有行政许可180个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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