芯恩（青岛）集成电路申请研磨终点检测装置及相关专利，通过获取电流突变点确定研磨终点_电子应用

芯恩（青岛）集成电路申请研磨终点检测装置及相关专利，通过获取电流突变点确定研磨终点

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2025-05-27 22:39:14

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金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“研磨终点检测装置、方法及化学机械研磨设备”的专利，公开号CN120038667A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明提供了一种研磨终点检测装置、方法及化学机械研磨设备，研磨终点检测装置用于检测化学机械研磨设备的研磨终点，化学机械研磨设备包括研磨盘，研磨盘的正面设置有研磨垫，研磨盘的背面设置有第一驱动轴，第一驱动轴用于驱动研磨盘带动研磨垫转动以对基板进行研磨，研磨终点检测装置在第一驱动轴驱动研磨盘转动时，第一驱动轴带动闭合线圈同步转动，闭合线圈转动时切割磁体件磁场的磁感线，闭合线圈上产生电流，该研磨终点检测装置通过电流的变化情况能够获得闭合线圈转速的变化情况从而获得研磨盘转速的变化情况，即通过获取电流突变点能够获取研磨盘的转速突变点，从而确定研磨终点。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目169次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息675条，此外企业还拥有行政许可55个。

来源：金融界

企业通过获取电流检测线圈装置闭合集成电路终点专利研磨盘芯恩青岛

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