江苏元夫半导体取得清洗单元及化学机械抛光设备专利,使得腔体内的气流稳定
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2025-05-28 21:33:33
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金融界2025年5月28日消息,国家知识产权局信息显示,江苏元夫半导体科技有限公司取得一项名为“一种清洗单元及化学机械抛光设备”的专利,授权公告号CN222903605U,申请日期为2024年07月。

专利摘要显示,本申请公开了一种清洗单元及化学机械抛光设备,一种清洗单元包括风机模块,所述风机模块用于吹出洁净气体;传输模块,所述传输模块包括腔体,所述腔体包括顶壁组件、底壁、第一侧壁组件和第二侧壁,所述第一侧壁组件和所述第二侧壁相对设置,所述顶壁组件设有第一进风口,所述第一侧壁组件设有第二进风口,所述第二侧壁设有出风口,所述出风口和所述第二进风口相对设置,所述风机模块与所述第一进风口和所述第二进风口连通;清洗模块,所述清洗模块位于所述底壁的下方,所述清洗模块具有朝向所述腔体的清洗口。

天眼查资料显示,江苏元夫半导体科技有限公司,成立于2020年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏元夫半导体科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息35条,专利信息71条,此外企业还拥有行政许可14个。

来源:金融界

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