芯源微申请显影装置及其使用方法和半导体设备专利，增大显影液的喷出范围
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2025-05-30 09:03:32
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金融界2025年5月30日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“显影装置及其使用方法和半导体设备”的专利，公开号CN120065652A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明提供了一种显影装置及其使用方法和半导体设备，所述显影装置包括喷嘴件和分隔件；所述喷嘴件包括容纳腔体和喷液部，所述喷液部呈空心圆台形结构；所述分隔件插设于所述容纳腔体内以将所述容纳腔体分隔为缓存腔体和导流腔体，所述缓存腔体与显影液供液管路连通，所述导流腔体与所述喷液部相接，所述缓存腔体与所述导流腔体连通且使显影液流经所述导流腔体后能沿所述喷液部的内壁流动。本发明增大了显影液的喷出范围，且大大增加了显影液与晶圆的接触面积，加快显影液与晶圆光刻后曝光部分或非曝光部分的反应速度，缩短显影工艺时间，有利于减少显影液的使用量，避免了显影液对晶圆造成冲击及显影液飞溅，从而避免了造成晶圆显影缺陷。
天眼查资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20096.6966万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目302次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息608条，此外企业还拥有行政许可63个。
来源：金融界
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