金融界2025年5月31日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体清洗工艺设备及半导体清洗工艺检测方法”的专利,公开号CN120072682A,申请日期为2023年11月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体清洗工艺设备及半导体清洗工艺检测方法,半导体清洗工艺设备包括清洗部件和检测部件,清洗部件用于输送清洗晶圆的清洗液体,清洗部件具有排液部,清洗部件通过排液部向晶圆排出清洗液体,检测部件与排液部对应设置,用于检测排液部内的清洗液体的液面位置。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1053次,财产线索方面有商标信息66条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
来源:金融界