北方华创申请半导体工艺设备及其排气系统专利，提高了排气系统的压力控制范围_电子应用

北方华创申请半导体工艺设备及其排气系统专利，提高了排气系统的压力控制范围

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2025-05-31 17:04:45

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金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其排气系统”的专利，公开号CN120072681A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本申请提供一种半导体工艺设备及其排气系统，排气系统包括排气机构和负压调节机构，排气机构包括排气管线、控压阀以及出气管线，排气管线连接半导体工艺设备的工艺腔室和控压阀，出气管线连接控压阀和废气管线，控压阀用于控制排气管线的排气压力；负压调节机构包括调节气源、调节管线和流量调节部，调节管线一端与调节气源相连，另一端穿入出气管线中，向废气管线方向排放调节气体，流量调节部用于控制调节气体的流速。调节气体的流速大于工艺废气的流速。调节气体的流速较高，压力较低，工艺废气在压差作用下随调节气体流动。出气管线中的压力会随工艺废气的流速增加而降低，进而提高了出气管线的负压，提高了排气系统的压力控制范围。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1057次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

来源：金融界

企业管线华创提高了系统导体废气排气调节专利流速控压阀工艺

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