上海积塔半导体取得薄膜电阻测试设备专利，提高薄膜电阻设备产能
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2025-05-15 11:07:37
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金融界2025年3月10日消息，国家知识产权局信息显示，上海积塔半导体有限公司取得一项名为“薄膜电阻测试设备”的专利，授权公告号CN 222561692 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种薄膜电阻测试设备，包括检测腔，所述检测腔包括相对的第一侧壁和第二侧壁；载台，置于所述检测腔内，用于放置待测试晶圆；第一连接杆，与所述第一侧壁沿第一方向可移动连接；第二连接杆，与所述第二侧壁沿所述第一方向可移动连接；第一四探针检测头，与所述第一连接杆相连接；第二四探针检测头，与所述第二连接杆相连接。本实用新型通过在检测腔内增设四探针检测头，提高薄膜电阻设备的产能；当四探针探头独立工作时，可同时检测金属薄膜和非金属薄膜，提高机台的利用率。
天眼查资料显示，上海积塔半导体有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1690740.3918万人民币，实缴资本1607601.0503万人民币。通过天眼查大数据分析，上海积塔半导体有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1812次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息956条，此外企业还拥有行政许可180个。
来源：金融界
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