金融界2025年6月2日消息,国家知识产权局信息显示,浙江奥首材料科技有限公司申请一项名为“一种高效半导体芯片清洗液及其制备方法与应用”的专利,公开号CN120059860A,申请日期为2025年01月。
专利摘要显示,本发明涉及一种高效半导体芯片清洗液,按照重量份计算,包括如下组分:胺类化合物20‑40份;缓蚀剂3‑10份;有机溶剂20‑45份;螯合剂0.1‑0.8份;超纯水15‑50份。本发明还公开上述清洗液的制备方法与用途。本发明采用的双羟香豆素和丹皮酚中均含有氢键供体和氢键受体,二者复配会产生氢键作用,由于二者之间的氢键作用,双羟香豆素和丹皮酚之间形成双环结构,除了双羟香豆素和丹皮酚的结构中的羟基和羰基可以络合铝离子外,二者协同后形成的双环结构也可以更好的与铝离子络合,对芯片具有优异的清洗效率。
来源:金融界