ASM申请用于支撑处理容器和相关半导体处理炉的支撑套筒专利，在支撑套筒和处理容器之间形成气体密封
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2025-06-02 13:04:09
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金融界2025年6月2日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于支撑处理容器和相关半导体处理炉的支撑套筒”的专利，公开号CN120062993A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，公开了支撑套筒和包括这种支撑套筒的半导体处理炉。所公开的支撑套筒包括用于支撑半导体处理炉内的处理容器的单个支撑表面。所公开的支撑套筒还包括多个内部气体通道，其配置用于在支撑套筒和支撑在支撑套筒上的处理容器之间形成气体密封。

来源：金融界

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