晶合集成获得发明专利授权:“一种半导体机台量测定位方法及半导体机台”
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2025-06-04 05:34:19
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体机台量测定位方法及半导体机台”,专利申请号为CN202411943347.X,授权日为2025年6月3日。

专利摘要:本发明提供了一种半导体机台量测定位方法及半导体机台,量测定位方法包括以下步骤:在半导体机台报错时,获取半导体机台的采样图像,并输入模板图像;分析采样图像和模板图像,从采样图像中获取多个第一特征点,从模板图像中获取多个第二特征点;根据第一特征点和第二特征点的相关性,从采样图像上截取采样区域,将模板图像映射到采样区域上;设置特征阈值,当模板图像和采样区域的相似度小于特征阈值,增加第一特征点和第二特征点的获取数量,并重新获取第一特征点和第二特征点;以及当模板图像和采样区域的相似度大于或等于特征阈值,以采样区域为半导体机台的电镜扫描区。本发明能够在机台量测出错时自动调整摄像焦点,从而实现自动过货。

今年以来晶合集成新获得专利授权156个,较去年同期增加了9.09%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。

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