物元半导体申请一种键合界面质量检测方法专利，有效提高检测精度与效率
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2025-06-09 14:34:27
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金融界2025年6月9日消息，国家知识产权局信息显示，物元半导体技术（青岛）有限公司申请一项名为“一种键合界面质量检测方法”的专利，公开号CN120109038A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明涉及一种键合界面质量检测方法，包括：提供第一晶圆和第二晶圆；分别对第一晶圆和第二晶圆进行表面亲水性处理；在第一晶圆或第二晶圆的键合面贴附亲水性薄膜；在两晶圆的键合面对准贴合进行预键合后进行退火处理，使两晶圆键合界面的亲水性薄膜变为气体挥发；在晶圆表面选取至少一个待测试电路图案区域；测量待测试电路图案区域的电阻，基于电阻值的大小判断第一晶圆和第二晶圆的键合界面是否存在缺陷。
天眼查资料显示，物元半导体技术（青岛）有限公司，成立于2022年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本45000万人民币。通过天眼查大数据分析，物元半导体技术（青岛）有限公司参与招投标项目1次，专利信息79条，此外企业还拥有行政许可11个。
来源：金融界
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