舟鸿半导体申请具有检测功能的半导体晶圆刻蚀方法专利，有效提升刻蚀精度和质量_电子应用

舟鸿半导体申请具有检测功能的半导体晶圆刻蚀方法专利，有效提升刻蚀精度和质量

创始人

2025-06-24 15:38:19

0次

金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市舟鸿半导体科技有限公司申请一项名为“一种具有检测功能的半导体晶圆刻蚀方法”的专利，公开号CN120199696A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种具有检测功能的半导体晶圆刻蚀方法。该方法先通过光学检测装置获取晶圆表面初始图像数据，提取几何特征和缺陷分布信息；再经多尺度特征融合算法处理，识别异常区域并分类缺陷类型；接着根据缺陷情况动态调整刻蚀设备工艺参数，规划自适应刻蚀路径；刻蚀时利用实时监测模块采集数据，通过反馈控制机制修正刻蚀参数；刻蚀后借助多光谱成像技术二次检测验证刻蚀精度。该方法可精准定位缺陷、优化刻蚀工艺，有效提升刻蚀精度和质量，减少废品率，提高半导体晶圆制造的效率和可靠性。

天眼查资料显示，深圳市舟鸿半导体科技有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市舟鸿半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息4条，专利信息12条，此外企业还拥有行政许可3个。

来源：金融界

企业方法缺陷信息功能半导体检测深圳市精度专利天眼晶圆

上一篇：海信日立申请一种空调器专利，通过软件算法推算室内回风温度可避免增设传感器降低硬件投入成本

下一篇：中微半导体申请风冷结构、加热模块及半导体处理设备专利，使冷却风至少部分地导向第二端

舟鸿半导体申请具有检测功能的半导体晶圆刻蚀方法专利，有效提升刻蚀精度和质量

相关内容

热门资讯