舟鸿半导体申请具有检测功能的半导体晶圆刻蚀方法专利，有效提升刻蚀精度和质量
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2025-06-24 15:38:19
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金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市舟鸿半导体科技有限公司申请一项名为“一种具有检测功能的半导体晶圆刻蚀方法”的专利，公开号CN120199696A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种具有检测功能的半导体晶圆刻蚀方法。该方法先通过光学检测装置获取晶圆表面初始图像数据，提取几何特征和缺陷分布信息；再经多尺度特征融合算法处理，识别异常区域并分类缺陷类型；接着根据缺陷情况动态调整刻蚀设备工艺参数，规划自适应刻蚀路径；刻蚀时利用实时监测模块采集数据，通过反馈控制机制修正刻蚀参数；刻蚀后借助多光谱成像技术二次检测验证刻蚀精度。该方法可精准定位缺陷、优化刻蚀工艺，有效提升刻蚀精度和质量，减少废品率，提高半导体晶圆制造的效率和可靠性。
天眼查资料显示，深圳市舟鸿半导体科技有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市舟鸿半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息4条，专利信息12条，此外企业还拥有行政许可3个。
来源：金融界
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