上海集成电路装备材料产业创新中心申请调焦调平传感器及其工作方法、电子设备专利，提高测量精确性_电子应用

上海集成电路装备材料产业创新中心申请调焦调平传感器及其工作方法、电子设备专利，提高测量精确性

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2025-07-01 10:08:18

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金融界2025年7月1日消息，国家知识产权局信息显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请一项名为“调焦调平传感器及其工作方法、电子设备”的专利，公开号CN120232367A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明涉及传感器技术领域，公开了一种调焦调平传感器及其工作方法、电子设备，包括：激光组件、控制器和探测器；激光组件包括透镜、多重滤光器和光纤线路；控制器，用于根据晶圆表面膜层的当前膜厚数据，确定目标波长；透镜，用于汇聚激光束；多重滤光器，与控制器电性连接，用于通过旋转对透镜汇聚的激光束进行相应滤光处理，留下具有目标波长的光束；光纤线路，用于将具有目标波长的光束传输至晶圆表面，以使探测器接收反射束斑。这样能够使调焦调平传感器的激光适用于多种膜厚晶圆产品，通过将光的波长改变为目标波长，使之射在晶圆表面膜层上的光线尽可能多地反射，提高了测量的精确性和对于不同工艺的适应性。

天眼查资料显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司参与招投标项目69次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息486条，此外企业还拥有行政许可211个。

来源：金融界

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