圣柏林申请用于半导体生产的高效加热装置专利，解决现有灯光加热装置加热不均问题
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2025-05-17 16:35:22
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金融界2025年5月17日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市圣柏林橡塑电子有限公司申请一项名为“一种用于半导体生产的高效加热装置”的专利，公开号CN119993860A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体加热领域，具体公开了一种用于半导体生产的高效加热装置，包括加热模块、设备模块和承载平台，所述设备模块内部设有低速驱动电机、真空装置和氮气加压装置；所述设备模块顶部设有承载平台，所述承载平台设有半导体托盘，其表面设有PI高温热熔铝基板；所述加热模块上部为上盖板，所述上盖板通过连接件和连接板与所述设备模块顶部一侧连接，所述上盖板与所述设备模块两侧设有电动伸缩杆，所述加热模块下部为加热炉，所述加热炉顶部设有顶部加热灯具，边缘设有边缘加热灯具，所述加热炉通过第一管道与真空装置连接，通过第二管道与氮气加压装置连接。该发明解决了现有灯光加热装置加热不均，容易使半导体发生形变的问题。
天眼查资料显示，深圳市圣柏林橡塑电子有限公司，成立于2011年，位于深圳市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市圣柏林橡塑电子有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可6个。
来源：金融界
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