北方华创申请一种加热控制方法及半导体工艺设备专利，提高了晶圆的清洗效果
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2025-07-26 12:39:10
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金融界2025年7月26日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种加热控制方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120371057A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本申请提供了一种加热控制方法及半导体工艺设备，其中，所述加热控制方法在工艺液体的当前温度处于目标温度区间且加热装置的当前温度小于第一温度阈值时，控制加热装置以第一目标加热功率加热工艺液体，第一目标加热功率小于加热装置的额定加热功率，并在加热装置的当前温度大于或等于第一温度阈值时，控制加热装置停止加热或以第二目标加热功率加热工艺液体，直至加热装置的当前温度小于第二温度阈值，第二温度阈值小于第一温度阈值且第二目标加热功率小于第一目标加热功率，从而通过对加热装置的加热功率和内部温度进行限制，能够有效降低加热过程中工艺液体中预设组分热分解对温度控制精度以及工艺液体配比的影响，进而提高了晶圆的清洗效果。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1096次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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