合肥领航微系统申请基于TFT晶体管的超声波传感器及其制备工艺专利，传感器具有高分辨率特点_电子应用

合肥领航微系统申请基于TFT晶体管的超声波传感器及其制备工艺专利，传感器具有高分辨率特点

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2025-12-03 20:36:48

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国家知识产权局信息显示，合肥领航微系统集成有限公司申请一项名为“一种基于TFT晶体管的超声波传感器及其制备工艺”的专利，公开号CN121057489A，申请日期为2025年7月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及一种基于TFT晶体管的超声波传感器及其制备工艺，包括基底，基底的正面生长上缓冲层，上缓冲层的正面生长TFT晶体管；上压电层的正面设置在TFT晶体管的正面；制备工艺包括：在基底的正面生长上缓冲层；在上缓冲层生长TFT晶体管；制备MEMS芯片；将MEMS芯片的正面键合在TFT晶体管的正面，将MEMS芯片中的衬底抛光去除。本发明优先采用PZT材料，采用射频磁控溅射生长获取压电层，采用键合工艺把压电层设置在TFT晶体管上，充分利用PZT薄膜材料压电性能高、工艺兼容性强的特点，发挥射频磁控溅射工艺优势，使得压电层具有良好的压电性能和机械性能，传感器具有高分辨率，高信噪比，高灵敏度，高穿透性的特点。

天眼查资料显示，合肥领航微系统集成有限公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本754.299万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥领航微系统集成有限公司参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息95条，此外企业还拥有行政许可4个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

压电投资领航合肥超声波系统传感器工艺晶体管专利超声波传感器电层缓冲层

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