京仪自动化申请半导体工业废气处理专利，具备可持续性且不影响设备运转和产品良率_电子应用

京仪自动化申请半导体工业废气处理专利，具备可持续性且不影响设备运转和产品良率

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2026-01-02 12:08:36

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国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“半导体工业废气处理方法及系统”的专利，公开号CN121222235A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请涉及废气处理技术领域，提供一种半导体工业废气处理方法及系统。所述方法包括：控制脱氧反应单元对半导体工业废气进行脱氧处理；控制气体浓度检测单元对脱氧后的废气进行氧气浓度检测；在氧气浓度小于第一浓度阈值的情况下，控制等离子反应器对脱氧废气进行等离子处理；对脱氧反应单元中脱氧剂的剩余使用寿命进行预测，在剩余使用寿命小于寿命阈值的情况下，对脱氧剂进行更换或再生。本申请利用前置脱氧，从源头抑制氮氧化物生成，利用脱氧剂剩余使用寿命预测，及时更换或再生脱氧剂，具备可持续性、不会影响半导体高精度设备的运转和产品的良率，且无需考虑对氮氧化物进行催化分解的效率以及高热分解的能耗。

天眼查资料显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司，成立于2016年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16800万人民币。通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目101次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息530条，此外企业还拥有行政许可12个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

进行投资可持续性京仪影响良率处理导体废气脱氧剂半导体浓度专利

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